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Triméthylsilane

Le triméthylsilane est un composé chimique de formule SiH(CH3)3. Il s'agit d'un gaz incolore à l'odeur douceâtre et nauséeuse, très inflammable, susceptible de s'enflammer spontanément en présence d'impuretés et formant des mélanges explosifs avec l'air. Il peut être produit en réduisant le chlorure de triméthylsilyle SiCl(CH3) avec un réducteur approprié, comme l'aluminohydrure de lithium LiAlH4 :

4 SiCl(CH3) + LiAlH4 ⟶ 4 SiH(CH3)3 + LiCl + AlCl3.
Triméthylsilane

Structure du triméthylsilane
Identification
Nom UICPA triméthylsilane
No CAS 993-07-7
No ECHA 100.012.366
No CE 213-603-0
PubChem 70435
SMILES
InChI
Apparence gaz incolore à l'odeur douceâtre et nauséeuse
Propriétés chimiques
Formule C3H10Si [Isomères]
Masse molaire[1] 74,197 ± 0,003 4 g/mol
C 48,56 %, H 13,58 %, Si 37,85 %,
Propriétés physiques
T° fusion −135,89 °C[2]
T° ébullition 6,7 °C[2]
Masse volumique 0,635 g·cm-3[2]
(liquide à l'ébullition)
T° d'auto-inflammation 235 °C[2]
Pression de vapeur saturante 156,9 kPa[2] à 20 °C
Précautions
SGH[2]
SGH02 : InflammableSGH04 : Gaz sous pression
Danger
H220, H280, P210, P377, P381 et P403
Transport[2]

Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.

Il peut être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le dépôt de diélectriques ou de barrières de diffusion (en) par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)[3].

Notes et références

  1. Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
  2. Entrée « Trimethylsilane Â» dans la base de données de produits chimiques GESTIS de la IFA (organisme allemand responsable de la sécurité et de la santé au travail) (allemand, anglais), accès le 16 décembre 2012 (JavaScript nécessaire)
  3. (en) Sheng-Wen Chen, Yu-Sheng Wang, Shao-Yu Hu, Wen-Hsi Lee, Chieh-Cheng Chi et Ying-Lang Wang, « A Study of Trimethylsilane (3MS) and Tetramethylsilane (4MS) Based α-SiCN:H/α-SiCO:H Diffusion Barrier Films », Materials, vol. 5, no 3,‎ , p. 377-384 (PMID 28817052, PMCID 5448926, DOI 10.3390/ma5030377, Bibcode 2012Mate....5..377C, lire en ligne)
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