Institut d'électronique de microélectronique et de nanotechnologie

L’Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie ou IEMN est un institut de recherche CNRS dont le laboratoire central est situé à Villeneuve-d'Ascq (Métropole européenne de Lille, Hauts-de-France) sur le campus Cité Scientifique de l'Université de Lille, à proximité également notamment de l'École centrale de Lille ou de Polytech Lille. Les domaines de recherches couvrent la physique, l'électronique, les microtechnologies ainsi que les nanotechnologies.

IEMN

Histoire
Fondation	1992

Cadre
Code	UMR 8520
Type	Laboratoire, institut de recherche, unité mixte de recherche
Domaine d'activité	Micro-électronique, Nanotechnologie
Siège	Villeneuve-d'Ascq (Métropole européenne de Lille, Hauts-de-France)
Pays	France
Coordonnées	50° 36′ 13″ N, 3° 08′ 16″ E

Organisation
Fondateur	Eugène Constant (d)
Direction	Thierry Mélin (d) (depuis 2020)
Organisations mères	Institut supérieur d'électronique et du numérique École nationale supérieure de chimie de Lille École centrale de Lille Université catholique de Lille Université polytechnique Hauts-de-France Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes Université de Lille Centre national de la recherche scientifique
Affiliation	Université de Lille
Site web	www.iemn.fr

L’IEMN est une Unité mixte de recherche CNRS (UMR). C'est un établissement partenaire de l'École Centrale de Lille, de l'Université de Lille, de l'Université de Valenciennes et de l'Université catholique de Lille (ISEN); avec plusieurs programmes d'enseignement et de recherche en commun. Il est membre du réseau Renatech[1].

Il comprend plus de 500 personnes, dont 112 professeurs et maîtres de conférences, 46 chercheurs CNRS, 112 ingénieurs et techniciens, près de 200 doctorants et post-doctorants.

Il est à l'origine de la création de 6 spinoffs[2].

Il est desservi par la station de métro Quatre Cantons - Stade Pierre-Mauroy.

Historique

L’IEMN est créée en 1992 par le Centre national de la recherche scientifique (CNRS)[3], l'université des sciences et technologies de Lille (USTL), l'Université polytechnique Hauts-de-France (UPHF) (précédemment l'université de Valenciennes (UVHC)) et l'Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN). Il est l'un des instituts de recherche de l'université de Lille.

L'IEMN fusionne avec trois laboratoires[3] :

le Centre Hyperfréquences et Semiconducteurs de l'université des Sciences et Technologies de Lille, correspondant aujourd'hui au Département DHS ;
le Laboratoire d'Opto-Acousto-Électronique de l'université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis, correspondant aujourd'hui au Département OAE ;
le Laboratoire d'études sur les surfaces et interfaces de l'Institut supérieur d'électronique et du numérique, correspondant aujourd'hui au Département ISEN.

Son nom est alors « Institut d'Électronique et de Microélectronique du Nord »[4].

En regroupant en une structure unique l'essentiel de la recherche régionale dans ces domaines, l'IEMN constitue un pôle de taille européenne.

En janvier 2010, le directeur Alain Cappy cède sa place à Lionel Buchaillot[5]. En janvier 2020, une nouvelle équipe de direction est constituée, avec Thierry Mélin (Directeur d'unité), Christophe Delerue (Directeur Adjoint Scientifique) et Christophe Lethien (Directeur Adjoint Technique)[3].

Organisation de la recherche

Le directeur Lionel Buchaillot pendant un discours officiel en 2012.

L’IEMN est composée de 22 groupes de recherches[6] qui se répartissent dans cinq départements :

Matériaux Nanostructures et Composants ;
Micro et Nano-Systèmes ;
Micro Nano Opto Electronique ;
Circuits et Systèmes de Télécommunication ;
Acoustique.

Formation par la recherche

L'IEMN est associé au Master Nanosciences et Nanotechnologies ainsi qu'au Master Réseaux et Télécommunications (MRT)[7].

Ces Masters ouvrent à ses diplômés la possibilité directe de poursuivre une formation par la recherche à l'IEMN menant au doctorat dans le cadre de l'École doctorale des sciences pour l'ingénieur (ED-072 SPI) Lille Nord de France.

Réalisations

L'IEMN réalise, en mai 2009, la plus petite et la plus performante pile à combustible au monde, de la taille de l'ongle d'un nourrisson[8].

Thématiques émergentes

Dans le cadre du Grand emprunt 2010, l'IEMN bénéficie du financement de deux nouvelles machines d'État, par le biais des Equipex[9]. L'Equipex est un appel à projets pour doter la France d'équipements scientifiques de qualité. Le renouvellement de machines est une condition de la compétitivité au niveau international.

« Leaf » : Développement de la recherche sur l'électronique flexible[10] ;
« Excelsior » : Développement des systèmes de mesure à l'échelle nanométrique[11].

Étant un matériau d'avenir, le graphène est l'objet de nombreuses recherches. De nouvelles applications seront possibles dans de nombreux domaines grâce à ses propriétés mécaniques et électriques. L'IEMN fait partie des 15 laboratoires français retenus pour ce projet[12], financé par l'Union européenne à hauteur d'un milliard d'euros.

Plateforme centrale de micro nano fabrication

La plateforme centrale de micro nano fabrication est une salle blanche de 1 600 m²[13]. Cette plateforme est animée par une équipe de 26 techniciens et ingénieurs auxquels s'ajoutent environ 130 chercheurs, enseignants-chercheurs, thésards, stagiaire et post-doctorants. Elle regroupe ainsi du savoir-faire et de l'expertise dans la microélectronique et les nanotechnologies. Chaque année, elle réalise plus de 100 projets. Cette Centrale de Technologie de l'IEMN est l'une des plus importantes de France et d'Europe[14].

Elle est l'une des six centrales du réseau RENATECH[15].

Objectif

La centrale de technologie a été créée dans le but de mettre à disposition un support technologique pour les équipes de recherche de l'IEMN[16].

Dans le cadre de la création du réseau national des grandes centrales de technologie (RENATECH), elle est devenue en 2003 une Plateforme Technologique Nationale ouverte aux laboratoires académiques. Elle est également ouverte aux laboratoires industriels nationaux et internationaux, ainsi qu'aux PME et PMI régionales, dans le cadre de collaborations de recherche.

Organisation

La plateforme est organisée sous la forme de cinq grands « Pôles » :

pôle dépôt et épitaxie ;
pôle gravure et implantation ;
pôle lithographie ;
pôle analyse in line ;
pôle Bio / microfluidique.

Les « pôles » sont un regroupement d’appareillages ou d’un ensemble de plusieurs bâtis gérés par une équipe. Chacune de ces ressources correspond à une compétence particulière.

Exemple de machines et procédés

La centrale de technologie regroupe près de 70 équipements lourds[17]. Ces équipements sont les moyens qui permettent aux équipes de recherche de la centrale de concevoir et réaliser des dispositifs semi-conducteur.