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Fluorure d'oxalyle

Le fluorure d'oxalyle est un composé chimique de formule OFC–CFO. Il s'agit d'un halogénure d'acyle dérivé de l'acide oxalique HOOC–COOH, le plus simple des acides dicaboxyliques. Il est étudié comme produit de remplacement pour les opérations de gravure de matériaux diélectriques en remplacement de composés à fort potentiel de réchauffement global[2].

Fluorure d'oxalyle
Image illustrative de l’article Fluorure d'oxalyle
Structure du fluorure d'oxalyle
Identification
Synonymes

difluorure d'oxalyle

No CAS 359-40-0
No ECHA 100.006.029
No CE 206-630-4
PubChem 9668
SMILES
InChI
Propriétés chimiques
Formule C2F2O2
Masse molaire[1] 94,017 ± 0,002 2 g/mol
C 25,55 %, F 40,41 %, O 34,04 %,

Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.

Notes et références

  1. Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
  2. (en) Simon Karecki, Ritwik Chatterjee, Laura Pruette, Rafael Reif, Terry Sparks, Laurie Beu, Victor Vartanian et Konstantin Novoselov, « Evaluation of Oxalyl Fluoride for a Dielectric Etch Application in an Inductively Coupled Plasma Etch Tool », Journal of The Electrochemical Society, vol. 148, no 3,‎ , G141 (DOI 10.1149/1.1348263, Bibcode 2001JElS..148G.141K, lire en ligne)
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