Fluorure d'oxalyle
Le fluorure d'oxalyle est un composé chimique de formule OFC–CFO. Il s'agit d'un halogénure d'acyle dérivé de l'acide oxalique HOOC–COOH, le plus simple des acides dicaboxyliques. Il est étudié comme produit de remplacement pour les opérations de gravure de matériaux diélectriques en remplacement de composés à fort potentiel de réchauffement global[2].
| Fluorure d'oxalyle | |
| |
| Structure du fluorure d'oxalyle | |
| Identification | |
|---|---|
| Synonymes |
difluorure d'oxalyle |
| No CAS | |
| No ECHA | 100.006.029 |
| No CE | 206-630-4 |
| PubChem | 9668 |
| SMILES | |
| InChI | |
| Propriétés chimiques | |
| Formule | C2F2O2 |
| Masse molaire[1] | 94,017 ± 0,002 2 g/mol C 25,55 %, F 40,41 %, O 34,04 %, |
| Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire. | |
Notes et références
- Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
- (en) Simon Karecki, Ritwik Chatterjee, Laura Pruette, Rafael Reif, Terry Sparks, Laurie Beu, Victor Vartanian et Konstantin Novoselov, « Evaluation of Oxalyl Fluoride for a Dielectric Etch Application in an Inductively Coupled Plasma Etch Tool », Journal of The Electrochemical Society, vol. 148, no 3,‎ , G141 (DOI 10.1149/1.1348263, Bibcode 2001JElS..148G.141K, lire en ligne)
Cet article est issu de wikipedia. Text licence: CC BY-SA 4.0, Des conditions supplémentaires peuvent s’appliquer aux fichiers multimédias.