Borohydrure d'hafnium
Le borohydrure d'hafnium est un composĂ© chimique de formule Hf(BH4)4. Il s'agit d'un complexe d'hafnium(IV) et d'ions tĂ©trahydruroborate(III) BH4â. C'est le plus volatil des composĂ©s de l'hafnium[2], ce qui en fait un prĂ©curseur de choix pour la production de diborure d'hafnium HfB2 par dĂ©pĂŽt chimique en phase vapeur (CVD)[3] - [4] - [5].
Notes et références
- Masse molaire calculĂ©e dâaprĂšs « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
- (en) H. R. Hoekstra, J. J. Katz, « The Preparation and Properties of the Group IV-B Metal Borohydrides », Journal of the American Chemical Society, vol. 71, no 7,â , p. 2488-2492 (lire en ligne) DOI 10.1021/ja01175a073
- (en) S. T. Schwab, C. A. Stewart, K. W. Dudeck, S. M. Kozmina, J. D. Katz, B. Bartram, E. J. Wuchina, W. J. Kroenke et G. Courtin, « Polymeric precursors to refractory metal borides », Journal of Materials Science, vol. 39, no 19,â , p. 6051-6055 (lire en ligne) DOI 10.1023/B:JMSC.0000041701.01103.41
- (en) Sreenivas Jayaraman, Yu Yang, Do Young Kim, Gregory S. Girolami et John R. Abelson, « Hafnium diboride thin films by chemical vapor deposition from a single source precursor », Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, vol. 23, no 6,â , p. 1619-1625 DOI 10.1116/1.2049307
- (en) Yu Yang, Sreenivas Jayaraman, Do Young Kim, Gregory S. Girolami et John R. Abelson, « Crystalline texture in hafnium diboride thin films grown by chemical vapor deposition », Journal of Crystal Growth, vol. 294, no 2,â , p. 389-395 (lire en ligne) DOI 10.1016/j.jcrysgro.2006.05.035
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