Pompe à diffusion
Une pompe à diffusion est une pompe de transfert cinétique à fluide moteur. Elle se compose d'un corps de pompe refroidi par une circulation d'eau à l'intérieur duquel sont placés des cônes formant des tuyères à leur partie supérieure. Le fluide moteur (généralement une huile de silicone) est situé dans la partie inférieure de l'appareil. Une résistance chauffante permet de vaporiser le fluide. La vapeur monte axialement et sort dans la partie supérieure des cônes sous forme de jets supersoniques dirigés vers le bas et dans lequel diffusent les gaz de l'enceinte à vide. En arrivant au contact des parois refroidies, les jets formés des gaz pompés et de la vapeur d'huile sont fractionnés : l'huile se condense et retombe dans la chaudière, alors que les gaz se trouvent à la partie inférieure de la pompe au niveau d'un ajutage où ils sont repris par une pompe primaire (pompe à palettes qui les refoule à l'extérieur).
Une pompe à diffusion ne peut pomper que dans une enceinte ou règne une pression inférieure à une pression appelée pression d'amorçage. Elle ne peut refouler les gaz que dans une canalisation où la pression est inférieure à une pression appelée pression maximale de refoulement. C'est pour ces deux raisons que l'on associe une pompe à palettes à une pompe à diffusion.
Parallèlement à la diffusion de l'air de l'enceinte dans l'huile de la pompe à diffusion, il y a diffusion de la vapeur d'huile vers l'enceinte, c'est la rétrodiffusion. Cette rétrodiffusion, et la pression de vapeur d'huile qui en résulte, peuvent être limitées par la présence de baffles réfrigérés et par le choix d'une huile à faible tension de vapeur à la température du baffle.