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Catégorie:Microlithographie
Arborescence de la micro et nanotechnologie
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C
Correction optique de proximité
D
Die (circuit intégré)
Die shot
G
Gravure (microfabrication)
L
Lithographie à faisceau d'électrons
Lithographie extrême ultraviolet
Lithographie par faisceau d'électrons focalisé
M
Masque à décalage de phase
Masque binaire
Masque photographique
P
Photolithographie